[Kirvisniemi]

А в чем сложность?

txtGUID := DELCHR(MyGUID,'=','{}-');
FOR intI:=1 TO 16 DO BEGIN
varBinary[intI] := Hex2Dec(txtGUID[intI*2-1]+txtGUID[intI*2]);
END;

осталось конвертор из HEX в DEC написать